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Lithography
Stefan Landis (Auteur principal)
Livre | Format : Livre | Editeur : ISTE | Date de parution : 04/08/2010
Résumé
Lithography is now a complex tool at the heart of a technological process for manufacturing micro and nanocomponents. A multidisciplinary technology, lithography continues to push the limits of optics, chemistry, mechanics, micro and nano-fluids, etc. This book deals with essential technologies and processes, primarily used in industrial manufacturing of microprocessors and other electronic components.
Détails
| EAN | 9781848212022 |
|---|---|
| ISBN | 184821202X |
| Contributeurs | Stefan Landis (Auteur principal) |
| Format | Livre |
| Éditeur | ISTE |
| Poids | 0.4 kg |
| Impression à la demande | Non |
| Catégories | Livres, Essais en anglais |
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